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CS系列质量流量控制器&流量计

CS系列产品来用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷。可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体,太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。

D07系列质量流量控制器&流量计

质量流量控制器(MFC)质量流量计(MFM)属于一种工业自动化仪表, D07系列MFC/MFM为模拟量程,具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。自1979年研制出精确测量控制气体流量的D07-1模拟控制的流量测控产品,我们不断优化D07系列的性能,满足不同客户应用需求。产品种类50余种,涵盖普通型,大量程型,高精度型,快响应型,耐压型,金属密封型等多种类型的需求。

DS系列质量流量控制器

DS系列MFC是压力式数字型产品,为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。产品支持标准IGS接口,可同时提供数字信号,0~5V模拟信号,可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC)。支持自动故障报警,多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。

K1000系列质量流量控制器
产品名称

D07-7质量流量控制器&流量计

D07-7是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品,能满足客户流量测控基本需求。
产品名称

D07-9质量流量控制器&流量计

D07-9是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
产品名称

K1000质量流量控制器

K1000为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量,在校正时事先设定4种气体的数据,通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定,操作简便;K1000C为大流量量程(200slm~1000slm),响应速度快(≤3s),具有模拟(0-5VDC)/RS485、DeviceNet通讯模式,可满足对客户对大流量高精度MFC的需求。
产品名称

DS300质量流量控制器

DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。
产品名称

D07-11质量流量控制器&流量计

D07-11是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-11产品是七星流量计研发的高压产品,最高耐压10MPa。
产品名称

D07-15质量流量控制器

D07-15是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-15是七星流量计专门针对客户对流量稳定性的需求研发的高稳流型产品。
产品名称

D07-19质量流量控制器&流量计

D07-19是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
产品名称

D07-23质量流量控制器&流量计

D07-23F是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-23F产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
产品名称

D07-60质量流量控制器&流量计

D07-60是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-60产品是七星流量计研发大流量的模拟产品,最大量程达2000SLM。
产品名称

CS200质量流量控制器&流量计

CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
产品名称

CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
产品名称

CS230质量流量控制器&流量计

CS230产品是七星流量计研发的中大流量产品,最高流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
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