CS系列产品采用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷，可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。
产品中心
分类出来
分类出来
CS系列质量流量控制器&流量计
D07系列质量流量控制器&流量计
质量流量控制器(MFC)质量流量计(MFM)属于一种工业自动化仪表， D07系列MFC/MFM为模拟量程，具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点。自1979年研制出精确测量控制气体流量的D07-1模拟控制的流量测控产品，我们不断优化D07系列的性能，满足不同客户应用需求。产品种类50余种，涵盖普通型，大量程型，高精度型，快响应型，耐压型，金属密封型等多种类型的需求。
DS系列质量流量控制器
DS系列MFC是压力式数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。产品支持标准IGS接口，可同时提供数字信号，0～5V模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电源（+14～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
D07-7质量流量控制器&流量计
D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。
D07-9质量流量控制器&流量计
D07-9是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-9产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
DS300质量流量控制器
DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器，用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
D07-11质量流量控制器&流量计
D07-11是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-11产品是七星流量计研发的高压产品，最高耐压10MPa。
D07-19质量流量控制器&流量计
D07-19是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
D07-23质量流量控制器&流量计
D07-23F/J是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-23F/J产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。
D07-60质量流量控制器&流量计
D07-60是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-60产品是七星流量计研发大流量的模拟产品，最大量程达2000SLM。
CS200质量流量控制器&流量计
CS200气体质量流量控制器，采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准。
CS300质量流量控制器&流量计
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量控制器的基础上，采用了基于DF的压力信号补偿算法，新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型，C型IGS气路系统。
CS230质量流量控制器&流量计
CS230产品是七星流量计研发的中大流量产品,最高流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
上一页
1
2
下一页
