DS系列MFC是压力式数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。产品支持标准IGS接口，可同时提供数字信号，0～5V模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电源（+14～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
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