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DS系列质量流量控制器

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DS系列质量流量控制器

DS系列MFC是压力式数字型产品,为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。产品支持标准IGS接口,可同时提供数字信号,0~5V模拟信号,可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC)。支持自动故障报警,多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。

产品名称

DS300质量流量控制器

DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。
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