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D07-11质量流量控制器&流量计

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D07-11质量流量控制器&流量计

D07-11是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-11产品是华丞电子研发的高压产品,最高耐压10MPa。
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产品描述
参数

特点

• 高耐压性

• 橡胶密封、模拟电路的MFC

• 采用DB15型电插头,国际标准机械接头

• CE认证,国际兼容

技术参数

编号

类型

D07-11C  

D07-11CM

1

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30)               SLM

2

准确度

 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

3

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

4

重复精度

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

5

响应时间

电特性:    10   sec      气特性:  ≤ 4 sec

6

最大工作压力

10  MPa

-

7

气压降

-

< 0.02 MPa

8

工作压差范围

≤10SLM  (0.2 ~ 0.8)  MPa
>10SLM  (0.2 ~ 0.6)  MPa

-

9

耐压

10  MPa

10  MPa

10

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

11

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

12

电源

+15 V   50 mA
  -15V   200 mA

13

外形尺寸

详见图4

14

重量

1.2kg

1kg

 

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  • SC111 D07-11C_11CM 中文使用手册2023.1.pdf

    大小:
    2023-02-09 11:29:06
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