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CS200H质量流量控制器&流量计

CS200H气体质量流量控制是华丞电子生产的数字型高温产品，其电气和机械部分采用分体式的设计，通过高温线缆连接，可以实现在高温环境下工作，能够满足复杂多变的半导体测量需求。

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产品描述

参数

优势

• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。

技术参数

CS200
类型	CS200-H
阀类型	常闭	无
流量规格(N2)	(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
最大工作压力	0.45MPa
温度系数	零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃
耐压强度	3MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金属密封
工作环境温度	质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃
输入信号	数字: RS485 或 DeviceNet 模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA	无
输出信号	数字:RS485或 DeviceNet 模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）
表面粗糙度	10 Ra
标准接头形式	双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头；1.5´´C型密封接头 1.5´´ W型密封接头
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头
连接高温电缆	2m
重量	1.2Kg	1Kg