产品描述
优势
• 控制器工作温度：90~120℃。
• 高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。
技术参数
CS200 | ||
| 类型 | CS200-H | |
| 阀类型 | 常闭 | 无 |
| 流量规格(N2) | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
| 线性 | ±0.5% F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |
| 响应时间 | ≤ 1sec | |
| 工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
| 最大工作压力 | 0.45MPa | |
| 温度系数 | 零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃ | |
| 耐压强度 | 3MPa | |
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
| 密封材料 | 金属密封 | |
| 工作环境温度 | 质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃ | |
| 输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet | 无 |
| 输出信号 | 数字:RS485或 DeviceNet | |
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 | |
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |
| 表面化学成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃） | |
| 表面粗糙度 | 10 Ra | |
| 标准接头形式 | 双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头；1.5´´C型密封接头 | |
| 电源接头形式 | D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头 | |
| 连接高温电缆 | 2m | |
| 重量 | 1.2Kg | 1Kg |
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