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CS200H质量流量控制器&流量计

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CS200H质量流量控制器&流量计

CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。
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产品描述
参数

优势

• 控制器工作温度:90~120℃。
• 高控制精度:产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应,响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品尺寸符合国际通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。

技术参数

CS200

型号

CS200-H

阀类型

常闭

流量规格(N2)

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM

<0.02 MPa

最大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点: ≤±0.1% F.S./℃;调节时: ≤±0.1% F.S./℃

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

工作环境温度

质量流量控制器/流量计:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃

输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

输出信号

数字:RS485或 DeviceNet  
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./年

电源

±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃)

表面粗糙度

10 Ra

标准接头形式

双卡套φ6;双卡套1/4;VCR1/4阳接头;1.5´´C型密封接头
1.5´´ W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头

连接高温电缆

2m

重量

1.2Kg

1Kg

 

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  • SC167 CS200H 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:28
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