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CS200质量流量控制器&流量计

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CS200质量流量控制器&流量计

CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
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产品描述
参数

优势

• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

• 产品支持RS485,DeviceNet,Profibus以及EtherCAT通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

技术参数

CS200
类型 CS200-A CS200-C CS200-D CS210-A CS210-D
阀类型 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 常开(流量规格≤30SLM) 常开
或常闭
或常闭 或常闭 或常闭 或常闭 或常闭
流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM (0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
响应时间 ≤ 1sec ≤ 0.8sec 1sec ≤ 0.8sec
工作压差范围 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM <0.02 MPa 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM <0.02 MPa 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM <0.02 MPa 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM 0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM <0.02 MPa 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM <0.02 MPa
最大工作压力 0.45MPa
温度系数 零点: ≤±0.05% F.S./℃; 零点: ≤±0.02% F.S./℃; 零点: ≤±0.05% F.S./℃; 零点: ≤±0.02% F.S./℃;
调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.05% F.S./℃ 调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.05% F.S./℃
调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM   调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM  
耐压强度 3MPa
漏率 1×10-10Pa·m3/ sec He 1×10-11Pa·m3/ sec He 1×10-10Pa·m3 / sec He 1×10-11Pa·m3 / sec He
密封材料 氟橡胶 金属密封 氟橡胶 金属密封
工作环境温度 (5~45)℃ (0~50)℃ (5~45)℃ (0~50)℃
输入信号 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA 数字: RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA 数字: RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA或(0~20)mA 数字: RS485 或EtherCAT 数字: RS485 或EtherCAT
输出信号 数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT 数字:RS485或 EtherCAT 数字:RS485或 EtherCAT
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA
电源 ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) +14 ~ +28 VDC (单极) +20.4 ~ +26.4 VDC
表面化学成分 常态 Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃) 常态 常态 常态
表面粗糙度 25 Ra 10 Ra 25 Ra 25 Ra 25 Ra
标准接头形式 双卡套 φ6;
双卡套 1/4´´;
双卡套 3/8´´;
VCR1/4´´阳接头;
双卡套φ3;
双卡套φ3;
双卡套φ6;
双卡套 1/4;
VCR1/4 阳接头;
双卡套 φ6;
双卡套1/4´´;
双卡套3/8´´;
VCR1/4´´阳接头;
双卡套φ3;
双卡套φ3;
双卡套φ6;
双卡套1/4;
VCR1/4阳接头
双卡套 1/8´´;
VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头;
1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头; 双卡套1/8´´;
VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头;
1.5´´C型密封接头;1.5´´ W型密封接头
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;
A 型密封接头;
  φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm;
A型密封接头;
 
电源接头形式 D 型 9 针阳接头;
D 型 15 针阳接头;
DeviceNet 接头;
ProfiBus 接头;
模拟接头;
EtherCAT 接头
D型9针阳接头;
EtherCAT接头
重量 1 Kg 0.8Kg 1.2Kg 1Kg 1.2Kg 1Kg 1 Kg 0.8Kg 1.2 Kg 1Kg

 

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