产品描述
优势
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持RS485，DeviceNet，Profibus以及EtherCAT通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
技术参数
| CS200 | ||||||||||
| 类型 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | CS210-A | CS210-D | |||||
| 阀类型 | 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) | 无 | 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) | 无 | 常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) | 无 | 常开(流量规格≤30SLM) | 无 | 常开 或常闭 |
无 |
| 或常闭 | 或常闭 | 或常闭 | 或常闭 | 或常闭 | ||||||
| 流量规格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | |||||||
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||||||
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | ||||||||||
| 线性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
| 响应时间 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | 1sec | ≤ 0.8sec | ||||||
| 工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM | ＜0.02 MPa |
| 最大工作压力 | 0.45MPa | |||||||||
| 温度系数 | 零点： ≤±0.05% F.S./℃； | 零点： ≤±0.02% F.S./℃； | 零点: ≤±0.05% F.S./℃； | 零点: ≤±0.02% F.S./℃； | ||||||
| 调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM | 调节时： ≤±0.05% F.S./℃ | 调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM | 调节时: ≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
| 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM | 调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM | |||||||||
| 耐压强度 | 3MPa | |||||||||
| 漏率 | 1×10-10Pa·m3/ sec He | 1×10-11Pa·m3/ sec He | 1×10-10Pa·m3 / sec He | 1×10-11Pa·m3 / sec He | ||||||
| 密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||||
| 工作环境温度 | （5～45）℃ | （0～50）℃ | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||||
| 输入信号 | 数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 无 | 数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA | 无 | 数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA | 无 | 数字: RS485 或EtherCAT | 无 | 数字: RS485 或EtherCAT | 无 |
| 输出信号 | 数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT | 数字:RS485或 EtherCAT | 数字:RS485或 EtherCAT | |||||||
| 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | ||||||||||
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | +14 ～ +28 VDC (单极) | +20.4 ～ +26.4 VDC | |||||||
| 表面化学成分 | 常态 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） | 常态 | 常态 | 常态 | |||||
| 表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | 25 Ra | 25 Ra | |||||
| 标准接头形式 | 双卡套 φ6； 双卡套 1/4´´； 双卡套 3/8´´； VCR1/4´´阳接头； 双卡套φ3； |
双卡套φ3； 双卡套φ6； 双卡套 1/4； VCR1/4 阳接头； |
双卡套 φ6； 双卡套1/4´´； 双卡套3/8´´； VCR1/4´´阳接头； 双卡套φ3； |
双卡套φ3； 双卡套φ6； 双卡套1/4； VCR1/4阳接头 |
||||||
| 双卡套 1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头； |
1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头； | 双卡套1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头; |
1.5´´C型密封接头;1.5´´ W型密封接头 | |||||||
| φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm； A 型密封接头; |
φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm； A型密封接头; |
|||||||||
| 电源接头形式 | D 型 9 针阳接头； D 型 15 针阳接头； DeviceNet 接头； ProfiBus 接头； 模拟接头； EtherCAT 接头 |
D型9针阳接头； EtherCAT接头 |
||||||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2 Kg | 1Kg |