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CS200质量流量控制器&流量计

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CS200质量流量控制器&流量计

CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
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产品描述
参数

优势

• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

技术参数

CS200

型号

CS200-A

CS200-C

CS200-D

阀类型

常开(流量规格 ≤ 30SLM)
或常闭

常开或常闭

常开或常闭

流量规格(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作压差范围

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa 30<流量规格≤50SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa
流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa
流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa
流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa
流量规格>10SLM

<0.02 MPa

最大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S./℃;
调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM

零点: ≤±0.02% F.S./℃;
调节时: ≤±0.05% F.S./℃

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡胶

金属密封

工作环境温度

(5~45)℃

(0~50)℃

输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

数字: RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC
或(4~20)mA
或(0~20)mA

数字: RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC
或(4~20)mA
或(0~20)mA

输出信号

数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus
模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./年

电源

±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)

表面化学成分

常态

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

常态

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

标准接头形式

双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头;
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;

双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头;
1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头

电源接头形式

D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

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  • Digital_MFC_Tools_V1.03.zip

    大小:
    2020-04-28 17:07:06
  • SC141 CS200C 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:24
  • SC139 CS200A 中文使用手册2020.7.pdf

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    2020-09-11 13:51:27
  • SC143 CS200D 中文使用手册2020.7.pdf

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    2020-09-11 13:51:28
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