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CS300质量流量控制器&流量计
优势
• 准确度采用设定点精度,产品精度可达±1.0% S.P.,响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能,对前段气体压力的扰动进行有效的补偿,减少压力变化对瞬时流量影响,从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。
技术参数
CS300 |
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类型 |
CS310C |
CS320C |
CS310D |
CS320D |
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阀类型 |
常开 |
常闭 |
无 |
常开或常闭 |
无 |
常开或常闭 |
无 |
常开或常闭 |
无 |
流量规格(N2) |
(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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准确度 |
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线性 |
±0.5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
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响应时间 |
≤ 0.8sec (≤ 0.5sec optional) |
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工作压差范围 |
0.05~0.3MPa |
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM |
<0.02 MPa |
温度系数 |
零点:≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.05% F.S./℃ |
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耐压 |
3.5 MPa |
1 MPa |
3.5 MPa |
3.5 MPa |
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漏率 |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
金属密封 |
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最大工作压力 |
0.45MPa |
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工作环境温度 |
(0~50)℃ |
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输入信号 |
数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT |
无 |
数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT |
无 |
数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT |
无 |
数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT |
无 |
|
输出信号 |
数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT |
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零漂 |
在没有零点校正时<0.6%F.S./年 |
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电源 |
±8~±16 VDC (双极) 或 +14~+28 VDC (单极) |
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表面化学成分 |
Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃) |
- |
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表面粗糙度 |
Ra 5μinch |
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标准接头形式 |
VCR1/4阳接头; |
1.5″B型密封接头 |
VCR1/4阳接头; |
1.5″B型密封接头 |
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电源接头形式 |
D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头;EtherCAT接头 |
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重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |