CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是华丞电子专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量控制器的基础上，采用了基于DF的压力信号补偿算法，新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型，C型IGS气路系统。

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产品描述

优势

• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。

技术参数

CS200质量流量控制器&流量计

CS230质量流量控制器&流量计

SC165 CS320D 中文使用手册2023.1.pdf

SC163 CS320C 中文使用手册2023.1.pdf

SC161 CS310D 中文使用手册2023.1（不涉密）.pdf

SC159 CS310C 中文使用手册2023.11（不涉密）.pdf

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CS300
类型	CS310C			CS320C		CS310D		CS320D
阀类型	常开	常闭	无	常开或常闭	无	常开或常闭	无	常开或常闭	无
流量规格(N₂)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作压差范围	0.05~0.3MPa 流量规格≤5SLM 0.1~0.3MPa 5SLM<流量规格≤10SLM 0.2~0.3MPa 流量规格>10SLM	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃
耐压	3.5 MPa	1 MPa	3.5 MPa	3.5 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金属密封
最大工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC		无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）					-
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头			1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头		VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头；EtherCAT接头
重量	1 Kg		0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

型号	CS310C		CS320C
阀类型	常开或常闭	无	常开或常闭	无
流量规格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃
耐压	3.5 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金属密封
最大工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC	无
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg