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CS300质量流量控制器&流量计

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CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
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产品描述
参数

优势

• 准确度采用设定点精度,产品精度可达±1.0% S.P.,响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能,对前段气体压力的扰动进行有效的补偿,减少压力变化对瞬时流量影响,从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。

技术参数

CS300

型号

CS310C

CS320C

CS310D

CS320D

阀类型

常开或常闭

常开或常闭

常开或常闭

常开或常闭

流量规格(N2)

(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 0.8sec            (≤ 0.5sec  optional)

工作压差范围

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

温度系数

零点:≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.05% F.S./℃

耐压

3.5 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

最大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

(0~50)℃

输入信号

数字:RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC

输出信号

数字:RS485 或 DeviceNet  
模拟:(0~5)VDC

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./年

电源

±8~±16 VDC (双极) 或 +14~+28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)

-

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头;
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

VCR1/4阳接头;
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

 

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  • Digital_MFC_Tools_V1.03.zip

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    2020-04-28 17:07:06
  • SC159 CS310C 中文使用手册2020.7.pdf

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    2020-09-11 13:51:30
  • SC161 CS310D 中文使用手册2020.7.pdf

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  • SC165 CS320D 中文使用手册2020.7.pdf

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  • SC163 CS320C 中文使用手册2020.7.pdf

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