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D07-7质量流量控制器&流量计

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D07-7质量流量控制器&流量计

D07-7是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量 。D07-7产品是七星流量计基础款产品,能满足客户流量测控基本需求。
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产品描述
参数

  特点

  • 橡胶密封、模拟电路的MFC

  • 管状分流,使用寿命长

  技术参数

 

编号

 

项目

 

D07-7K  型

 

D07-7B  型

 

D07-7C  型

 

D07-7CM  型

 

1

 

流量规格

 

(20,30,50,100,200,300,500)  SCCM      

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

           

 

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

 

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

 

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  

SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

2

准确度

±1 % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

3

线性

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

 

4

重复精度

 ±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2 %F.S

5

响应时间

 

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

 

 

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

 

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

                          

 

 10  sec

6

气压降

 

ˉ

 

ˉ

 

ˉ

<0.01 MPa

 

7

工作压差范围

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

<0.01 MPa

 

8

温度系数

Zero:≤±0.1% F.S./℃; 

Span: ≤±0.2% F.S./℃;

ˉ

ˉ

ˉ

 

9

最大工作压力

1  MPa

1  MPa

1  MPa

1  MPa

10

耐压

3  MPa

3  MPa

3  MPa

3  MPa

 

11

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

12

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

13

电源

  +15 V   50 mA;

  -15V  200 mA

    +15 V   50 mA; 

 -15V  200 mA

      +15 V   50 mA; 

   -15V  200 mA

+15 V   50 mA


-15 V   50 mA

 

14

外形尺寸

 

见图4

 

见图4

 

见图4

 

见图5

15

重量

1.1  kg

1.1  kg

1.1  kg

0.92  kg

 

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  • SC105 D07-7K 中文使用手册 2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 15:14:27
  • SC101 D07-7B 中文使用手册 2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 15:14:48
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