D07-7质量流量控制器&流量计

编号

类型

D07-7K 型

D07-7B 型

D07-7C 型

D07-7CM 型

1

流量规格

(20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM

2

准确度

±1% F.S

±1.5% F.S

±1.5% F.S

±1.5% F.S

3

线性

±1% F.S

±1% F.S

±1% F.S

±1% F.S

4

重复精度

±0.2% F.S

±0.2% F.S

±0.2% F.S

±0.2% F.S

5

响应时间

电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec

电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec

电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec

10 sec

6

气压降

ˉ

ˉ

ˉ

<0.01 MPa

7

工作压差范围

(0.1 ~ 0.5) MPa

(0.1 ~ 0.5) MPa

(0.1 ~ 0.5) MPa

<0.01 MPa

8

温度系数

Zero:≤±0.1% F.S./℃;
Span: ≤±0.2% F.S./℃;

ˉ

ˉ

ˉ

9

最大工作压力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

10

耐压

3 MPa

3 MPa

3 MPa

3 MPa

11

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

12

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V 
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V 
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V 
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V 
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

13

电源

+15V 50mA
-15V 200mA

+15V 50mA
-15V 200mA

+15V 50mA
-15V 200mA

+15V 50mA
-15V 50mA

14

重量

1.1 kg

1.1 kg

1.1 kg

0.92 kg