搜索
确认
取消
q
Position:
首页
/
/
/
/
CS100质量流量控制器&流量计

产品中心

浏览量:
1000

CS100质量流量控制器&流量计

CS100产品是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其独创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
产品描述
参数

优势

• CS100产品采用客户定制化设计,
• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合国际通用的SEMI标准的产品,也可选用紧缩型产品。

技术参数

CS100

型号

CS100A

CS100D

阀类型

常闭

常闭

流量规格(N2)

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa ; 10<流量规格≤30SLM
0.25~0.45MPa ; 30<流量规格≤50SLM

<0.02 MPa

 

0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa;10<流量规格≤30SLM

<0.02 MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃;   调节时: ≤±0.1% F.S/℃

耐压

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He)

密封材料

氟橡胶

金属密封

最大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

(5~45)℃

输入信号

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

输出信号

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:          (0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

电源接头形式

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针阳接头;

O型3针阳接头

D型15针阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针阳接头;

O型3针阳接头

D型15针阳接头

供电电源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自动清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

标准接头形式

双卡套 φ6; 双卡套φ3;双卡套1/4´´;双卡套1/8´´;

VCR1/4´´阳接头;

φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头

VCR1/4″阳接头

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
  • Digital_MFC_Tools_V1.03.zip

    大小:
    2020-04-28 17:07:06
  • SC171 CS100D 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:32
  • SC169 CS100A 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:30
这是描述信息

专注气体测控 引领行业发展

北京七星华创流量计有限公司

用我们的信誉和真诚与您合作!

公众号二维码

扫一扫,关注我们公众号

版权所有:北京七星华创流量计有限公司京ICP备17016733号       网站建设:中企动力 北京