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CS系列质量流量控制器&流量计

产品中心

CS系列质量流量控制器&流量计

CS系列产品来用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷。可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体,太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。

产品名称

CS200质量流量控制器&流量计

CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
产品名称

CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
产品名称

CS230质量流量控制器&流量计

CS230产品是七星流量计研发的中大流量产品,最高流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
产品名称

CS100质量流量控制器&流量计

CS100产品是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其独创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
产品名称

CS200H质量流量控制器&流量计

CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。
产品名称

CS330质量流量控制器&流量计

CS330产品是七星华创流量计新研发的高端数字型产品,最高流量可达200SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及先进的人工智能机器人金属表面抛光技术,可用于测量各种气体的流量,包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点,并支持DeviceNet,RS485通讯协议。
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