七星流量计是质量流量计/控制器的中国市场领军品牌,拥有超40年研发制造精准稳定的流量测量控制设备经验,研制精确地测量和控制的热式、压力式气体质量流量产品,为各种市场应用提供流量测控解决方案。产品已经被广泛用于半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
产品中心
PC系列压力控制器产品是基于CS系列产品先进技术研发的,其各项技术指标均严格按照SEMI标准,具有精度高,响应快,重复性好,使用便捷,易于通讯,扩展性和可兼容性强等优点。目前分为前压控制和背压控制两种产品,除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号。PC系列产品可应用于半导体、光伏、燃料电池以及其他控压领域 。
流量显示仪和积算仪用于为气体质量流量控制器 (MFC)和质量流量计 (MFM) 提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示和累计流量等,分为单通道及多通道,具有多个通道的流量显示仪可以配多个MFC/MFM,它们可以相互独立地工作。
阀门、管件,用在管路系统的连接或控制系统,它们之间是缺一不可的。华丞电子的阀门管件主要是为了与质量流量控制器系列产品做整体配套。目前,根据多年技术积累,华丞电子正在研制适用领域更广的相关配套产品。
磁流体密封传动装置是在磁性流体技术上发展起来的密封技术。磁流体密封技术可用于工业机械、光纤光电、电子电器、医疗机械、冶金机械、石油化工等领域。广泛应用于单晶炉、镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、刻蚀机、化学气相沉积设备、电气开关等真空传动的密封部位。
磁流体密封技术的工作原理 当磁性流体注入到高性能的永久磁铁、导磁性能良好的磁极及主轴所构成的磁回路中时,由于磁极齿尖处磁力场最强,磁流体集中处于齿尖处,在密封间隙内形成一系列液体“O”型密封环,将密封间隙充满而达到密封的效果。
气路盘是华丞电子开发的气路输送系统的解决方案,该产品通过对气路原理图的设计,加工和测试,以隔膜阀,调压阀,压力传感器,过滤器,MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节,纯度过滤,流量控制等功能,目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System),即IGS气路盘,这两种气路盘业务华丞电子都有能力承接。
随着半导体领域的发展,对零部件小型化的提出了更高的要求,传统的VCR气路盘难以满足要求,IGS型气路盘应运而生,它具有气体直方向运输,体积小,便于安装维护等特点,是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积,华丞电子的IGS气路盘具有高密封性,高精度,集成度高等优点,并可以依托华丞电子建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量,保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。