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产品中心

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流量控制

七星流量计是质量流量计/控制器的中国市场领军品牌,拥有超40年研发制造精准稳定的流量测量控制设备经验,研制精确地测量和控制的热式、压力式气体质量流量产品,为各种市场应用提供流量测控解决方案。产品已经被广泛用于半导体、燃料电池、太阳能、真空镀膜、分析仪器等行业,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

压力控制

PC系列压力控制器产品是基于CS系列产品先进技术研发的,其各项技术指标均严格按照SEMI标准,具有精度高,响应快,重复性好,使用便捷,易于通讯,扩展性和可兼容性强等优点。目前分为前压控制和背压控制两种产品,除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号。PC系列产品可应用于半导体、光伏、燃料电池以及其他控压领域 。

显示仪&积算仪

流量显示仪和积算仪用于为气体质量流量控制器 (MFC)和质量流量计 (MFM) 提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示和累计流量等,分为单通道及多通道,具有多个通道的流量显示仪可以配多个MFC/MFM,它们可以相互独立地工作。

阀门管件

阀门、管件,用在管路系统的连接或控制系统,它们之间是缺一不可的。七星流量计的阀门管件主要是为了与质量流量控制器系列产品做整体配套。目前,根据多年技术积累,七星流量计正在研制适用领域更广的相关配套产品。

磁流体密封传动装置

磁流体密封传动装置是在磁性流体技术上发展起来的密封技术。磁流体密封技术可用于工业机械、光纤光电、电子电器、医疗机械、冶金机械、石油化工等领域。广泛应用于单晶炉、镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、刻蚀机、化学气相沉积设备、电气开关等真空传动的密封部位。

磁流体密封技术的工作原理 当磁性流体注入到高性能的永久磁铁、导磁性能良好的磁极及主轴所构成的磁回路中时,由于磁极齿尖处磁力场最强,磁流体集中处于齿尖处,在密封间隙内形成一系列液体“O”型密封环,将密封间隙充满而达到密封的效果。

 

解决方案

  气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案,该产品通过对气路原理图的设计,加工和测试,以隔膜阀,调压阀,压力传感器,过滤器,MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节,纯度过滤,流量控制等功能,目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System),即IGS气路盘,这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。

  随着半导体领域的发展,对零部件小型化的提出了更高的要求,传统的VCR气路盘难以满足要求,IGS型气路盘应运而生,它具有气体直方向运输,体积小,便于安装维护等特点,是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积,七星流量计的IGS气路盘具有高密封性,高精度,集成度高等优点,并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量,保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。

产品名称

CS300质量流量控制器&流量计

产品名称

CS300质量流量控制器&流量计

产品名称

CS300质量流量控制器&流量计

产品名称

cs

产品名称

bg

产品名称

D08-1FD单路显示仪

D08-1FD型流量显示仪采用小型塑料机壳,体积较小,便于安装。流量输入输出信号,除了具有标准的 0~+5V 电压信号外,还有 4~20mA 或 0~10mA 的电流信号。 D08-1F 型流量显示仪带有流量设定和阀控功能,可与工作电源为±15V 的 MFC(或MFM)配套使用。
产品名称

D08-1F单路显示仪

流量显示仪用于为气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。可直接与我公司的质量流量控制器和质量流量计配套使用,也可与国外质量控制器配合使用。
产品名称

实心轴螺母安装磁流体装置

我们有多种的实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,它们适用于各种场合。除小径的转轴外,转轴的动力装配部位和用户安装部位的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多种配合形式,如扁平面,螺纹连接、孔连接等。我们的标准公制密封传动装置也有适用于高温、重负载、高速场合时的水冷形式(除一些微孔型、通孔型磁性流体密封装置以外)。
产品名称

实心轴中法兰安装磁流体装置

我们有多种的实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,它们适用于各种场合。除小径的转轴外,转轴的动力装配部位和用户安装部位的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多种配合形式,如扁平面,螺纹连接、孔连接等。我们的标准公制密封传动装置也有适用于高温、重负载、高速场合时的水冷形式(除一些微孔型、通孔型磁性流体密封装置以外)。
产品名称

实心轴法兰安装磁流体装置

我们有多种的实心轴传动装置,例如:微型、通孔型、法兰型、重负载型,它们适用于各种场合。除小径的转轴外,转轴的动力装配部位和用户安装部位的形状有标准的键槽以外,还能根据用户的要求,设计、制造多种配合形式,如扁平面,螺纹连接、孔连接等。我们的标准公制密封传动装置也有适用于高温、重负载、高速场合时的水冷形式(除一些微孔型、通孔型磁性流体密封装置以外)。
产品名称

空心轴通孔安装磁流体装置

空心轴密封传动装置有一个卡箍,它通过O型圈把用户轴和密封装置的转轴连在一起。空心轴密封传动装置运用的典型例子就是溅射设备,其中例如电子,中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等,也可以按照用户的要求进行特殊的设计或不带卡箍。
产品名称

空心轴法兰安装磁流体装置

空心轴密封传动装置有一个卡箍,它通过O型圈把用户轴和密封装置的转轴连在一起。
空心轴密封传动装置运用的典型例子就是溅射设备,其中例如电子,中性子或离子的注入用旋转单元、旋转物架以及X射线和光学机器。
空心轴密封传动装置有通孔型、法兰型等,也可以按照用户的要求进行特殊的设计或不带卡箍。
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