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CS330质量流量控制器&流量计
优势
• 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势,广泛适用于各类气体流量的测量。
• 体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计,从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉,极大程度降低了环境温度对传感器的影响,从而提高了传感器的抗干扰能力,确保了气体流量检测的精度。
• 先进的人工智能机器人表面抛光技术。CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA,严格按照SEMI标准生产制造。
• CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电;支持数字,模拟输入输出。
• CS330系列产品支持多种电气接口,包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部);支持RS485,DeviceNet通讯方式。
技术参数
CS330C、D |
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类型 |
CS330C |
CS330D |
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阀类型 |
常闭 |
无 |
常闭 |
无 |
流量规格(N2) |
(100,200) SLM |
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准确度 |
±1.0% S.P. (>35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.) |
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线性 |
±0.5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
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响应时间 |
≤ 1 sec |
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工作压差范围 |
400 ~ 600 KPa |
<0.03MPa |
400 ~ 600 KPa |
<0.03MPa |
温度系数 |
零点: ≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.1% F.S./℃ |
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最大工作压力 |
0.6 MPa |
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耐压 |
1 MPa (435pisg) |
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漏率 |
5 x 10-12 Pa·m3/ sec He (5 x 10-11 atm.cc/sec He) |
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密封材料 |
金属 |
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工作环境温度 |
(0~50)℃ |
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输入信号 |
数字: RS485 或 DeviceNet 或 EtherCAT |
无 |
数字: RS485 或 DeviceNet 或 EtherCAT |
无 |
输出信号 |
数字:RS485或 DeviceNet 或 EtherCAT |
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零漂 |
在没有零点校正时<0.6%F.S./年 |
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电源 |
±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28VDC (单极) |
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表面化学成分 |
铬/铁 比例>2.0;氧化铬厚度>20埃 |
常态 |
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标准接头形式 |
VCR 1/2´´ |
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电源接头形式 |
D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet 接头;EtherCAT接头 |
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表面粗糙度 |
5μinch Ra |
25μinch Ra |
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重量 |
1.8 Kg |
1.6 Kg |
1.8 Kg |
1.6 Kg |