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CS330质量流量控制器&流量计

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CS330质量流量控制器&流量计

CS330产品是七星华创流量计新研发的高端数字型产品,最高流量可达200SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及先进的人工智能机器人金属表面抛光技术,可用于测量各种气体的流量,包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点,并支持DeviceNet,RS485通讯协议。
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产品描述
参数

优势

• 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势,广泛适用于各类气体流量的测量。
• 体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计,从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉,极大程度降低了环境温度对传感器的影响,从而提高了传感器的抗干扰能力,确保了气体流量检测的精度。
• 先进的人工智能机器人表面抛光技术。CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA,严格按照SEMI标准生产制造。
• CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电;支持数字,模拟输入输出。
• CS330系列产品支持多种电气接口,包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部);支持RS485,DeviceNet通讯方式。

技术参数

CS330C、D

型号

CS330C、D

阀类型

常闭

流量规格(N2)

(100,200) SLM

准确度

±1.0% S.P. (>35% F.S.)      ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

     ≤ 1 sec

工作压差范围

100 ~ 300  KPa (50<F≤100SLM)
200 ~ 300  KPa (100<F≤200SLM)

温度系数

零点: ≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.1% F.S./℃

最大工作压差

1 MPa

耐压

3 MPa  (435pisg)

漏率

5 x 10-12 Pa·m3/ sec He (5 x 10-11 atm.cc/sec He)

密封材料

金属

工作环境温度

(0~50)℃

输入信号

数字: RS485或 DeviceNetTM
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

输出信号

数字:RS485或 DeviceNetTM
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./年

电源

±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28VDC (单极)

表面化学成分

常态

标准接头形式

VCR 1/2´´

电源接头形式

D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet 接头

重量

2.6 Kg

1.5 Kg

 

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  • SC183 CS330C 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:31
  • SC185 CS330D 中文使用手册2020.7.pdf

    大小:
    2020-09-11 13:51:26
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