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集成式(IGS)气体过滤器

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集成式(IGS)气体过滤器

高过滤精度和耐腐蚀性的陶瓷过滤器和全金属过滤器(过滤精度 0.003μm 推荐流量 几个LPM~120LPM)。
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产品描述
参数

特点

• 高过滤精度:具备陶瓷单元类型(0.003um)和金属单元类型(0.003um),可满足不同用户的需求。
• 具备多种接口类型:接口形式具备C-seal、W-seal等多种形式(C-seal和W-seal具备1.125”类型)
• 流量范围宽:产品的流量范围从几个LPM的小流量覆盖至120LPM的大流量

技术参数

项 目

集成式(IGS)气体过滤器

过滤精度

0.003um以上

流量

几个LPM~120LPM
(P1=0.5MPa,△P=0.05MPa时)

设计压力

1.0Mpa(20℃)

最高使用温度

460℃

外部漏率

2.0*10-11Pa m3/s以下

接触气体材质

SUS316L

 

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