产品中心
CS100质量流量控制器&流量计
优势
• CS100产品采用客户定制化设计，
• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合国际通用的SEMI标准的产品，也可选用紧缩型产品。
技术参数
|
CS100 |
||||||||||||||
|
类型 |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
|
阀类型 |
常闭 |
无 |
常闭 |
无 |
||||||||||
|
流量规格(N2) |
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
|
准确度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
|||||||||||||
|
线性 |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
|
重复精度 |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
|
响应时间 |
≤ 1sec |
|||||||||||||
|
工作压差范围 |
0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
||||||||||
|
温度系数 |
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ |
|||||||||||||
|
耐压 |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
|
漏率 |
1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） |
|||||||||||||
|
密封材料 |
氟橡胶 |
金属密封 |
||||||||||||
|
最大工作压力 |
0.45MPa |
|||||||||||||
|
工作环境温度 |
（5～45）℃ |
|||||||||||||
|
输入信号 |
模拟: |
数字: RS485 |
无 |
无 |
模拟: |
数字: RS485 |
无 |
无 |
||||||
|
输出信号 |
模拟: |
数字: RS485 |
模拟: (0～5)VDC |
数字: RS485 |
模拟: |
数字: RS485 |
模拟: |
数字: RS485 |
||||||
|
电源接头形式 |
D型9针 D型15针 |
D型9针 O型3针 |
D型15针 |
D型9针 D型15针 |
D型9针阳接头； O型3针阳接头 |
D型15针阳接头 |
D型9针 D型15针 |
D型9针 O型3针 |
D型15针 |
D型9针 D型15针 |
D型9针阳接头； O型3针阳接头 |
D型15针阳接头 |
||
|
供电电源 |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
|
自动清零 |
支持 |
|||||||||||||
|
表面粗糙度 |
25μinch Ra |
|||||||||||||
|
标准接头形式 |
双卡套 φ6； 双卡套φ3；双卡套1/4´´；双卡套1/8´´； VCR1/4´´阳接头； φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头 |
VCR1/4″阳接头 |
||||||||||||
|
重量 |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
||||||||||
