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CS300质量流量控制器&流量计

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产品描述
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CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量控制器的基础上，采用了基于DF的压力信号补偿算法，新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型，C型IGS气路系统。

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