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产品描述

参数

CS200
类型	CS200-A		CS200-C		CS200-D		CS210-A		CS210-D
阀类型	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)	无	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)	无	常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)	无	常开(流量规格≤30SLM)	无	常开或常闭	无
	或常闭		或常闭		或常闭		或常闭		或常闭
流量规格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM				(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
	(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM				(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
	±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec		≤ 0.8sec				1sec		≤ 0.8sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa





最大工作压力	0.45MPa
温度系数	零点： ≤±0.05% F.S./℃；		零点： ≤±0.02% F.S./℃；				零点: ≤±0.05% F.S./℃；		零点: ≤±0.02% F.S./℃；
	调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM		调节时： ≤±0.05% F.S./℃				调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM		调节时: ≤±0.05% F.S./℃
	调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM						调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM
耐压强度	3MPa
漏率	1×10-10Pa·m3/ sec He		1×10-11Pa·m3/ sec He				1×10-10Pa·m3 / sec He		1×10-11Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡胶		金属密封				氟橡胶		金属密封
工作环境温度	（5～45）℃		（0～50）℃				（5～45）℃		（0～50）℃
输入信号	数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无	数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA	无	数字： RS485或DeviceNet或 ProfiBus或 EtherCAT模拟：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA	无	数字: RS485 或EtherCAT	无	数字: RS485 或EtherCAT	无





输出信号	数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT						数字:RS485或 EtherCAT		数字:RS485或 EtherCAT
	模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)						+14 ～ +28 VDC (单极)		+20.4 ～ +26.4 VDC
表面化学成分	常态		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常态		常态		常态
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra		25 Ra		25 Ra
标准接头形式	双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´； VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；		双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4； VCR1/4 阳接头；				双卡套 φ6；双卡套1/4´´；双卡套3/8´´； VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；		双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套1/4； VCR1/4阳接头
	双卡套 1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头；		1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头；				双卡套1/8´´； VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头;		1.5´´C型密封接头;1.5´´ W型密封接头
	φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm； A 型密封接头;						φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm； A型密封接头;
电源接头形式	D 型 9 针阳接头； D 型 15 针阳接头； DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头； EtherCAT 接头						D型9针阳接头； EtherCAT接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2 Kg	1Kg