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气路系统
随着半导体领域的发展，对零部件小型化的提出了更高的要求，传统的VCR气路盘难以满足要求，IGS型气路盘应运而生，它具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积，七星流量计的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。
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产品描述
参数
优势：
• 提供定制化服务。
七星流量计具有IC级复杂气路盘的设计能力，可以按照客户的需求进行气路盘的设计更改和定制化服务。
• 多年的MFC生产经验，保证气路盘的品质。
七星具有多年研发和生产MFC的经验，可嫁接到气路盘的设计和生产中，对气路盘的装配和测试工艺不断优化，保证气路盘的品质。
• 良好的性价比。
同等难度的气路盘，七星流量计的价格低于同类竞品。
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