产品描述
优势
• 最适合高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择
技术参数
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尺寸 |
SEMI F83-0304 |
SEMI F84-0304 |
SEMI F86-0304 |
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Cv value( Cv值) |
0.24 |
0.24 |
0.27 |
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最大使用压力 |
1.0MPa(G) |
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使用温度范围 |
-10～80℃ |
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外部泄露 |
≦3x10-12 Pa・m3/sec Helium |
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阀座泄露 |
≦3x10-10 Pa・m3/sec Helium |
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