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IGS金属隔膜阀

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IGS金属隔膜阀

应用于IGS的高纯度金属隔膜阀,采用二次熔炼的SUS316L作为阀体材质,有多种接口(C-seal和W-seal)可供选择。
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产品描述
参数

优势

• 最适合高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L,安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择

技术参数

尺寸

SEMI F83-0304
1.125” W seal
2 Port

SEMI F84-0304
1.125” W seal
3 Port

SEMI F86-0304
1.125” C seal
2 Port

Cv value( Cv值)

0.24

0.24

0.27

最大使用压力

1.0MPa(G)

 使用温度范围

-10~80℃

  外部泄露

≦3x10-12 Pa・m3/sec Helium

 阀座泄露

≦3x10-10 Pa・m3/sec Helium

 

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