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K1000质量流量控制器

K1000为高精度，高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm，K1000A为小流量量程MFC（从10sccm~50slm），具备多气体多量程功能，8种BIN Size能对应10sccm～50slm的所有流量，在校正时事先设定4种气体的数据，通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定，操作简便；K1000C为大流量量程（200slm~1000slm），响应速度快（≤3s）,具有模拟（0-5VDC）/RS485、DeviceNet通讯模式，可满足对客户对大流量高精度MFC的需求。

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产品描述

参数

优势

• 传感器部分采用哈氏合金，耐腐蚀性强。
• 产品精度高，可达100%～25%：±1.0% of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能，可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(最大可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证

技术参数

型号	K1000A				K1000B	K1000C
流量规格(N2换算流量)	Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM
	Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM	Bin 6: 3SLM ~10SLM			60SLM 、100SLM、	200SLM、300SLM、
	Bin 3: 100SCCM~300SCCM	Bin 7: 10SLM~ 30SLM	Bin 8: 30 SLM ~50SLM		150SLM、200SLM	400SLM、500SLM	600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等)
	Bin 4: 300 SCCM ~1SLM
	Bin 5: 1SLM ~3SLM
阀类型	N/O：常开型、N/C：常闭型					N/C：常闭型
流量控制范围	2%～100%F.S.
准确度	100%～25%：±1.0% of S.P.， 25%～2%：±0.25%F.S. （精度保证范围15～35℃）				±1%F.S.(精度保证范围15～35℃)	±2%F.S.(精度保证范围15～35℃)
工作环境温度	5～50℃				5～45℃
响应时间	≦1sec				≦3sec
线性	±0.5%F.S.
重复精度	±0.2%F.S.
工作压差范围		N/O 　 100～300KPa (3SLM～10SLM)
	50～300KPa	N/O 　150～300KPa (11SLM～30SLM)		200～300KPa
	（Ar: 100～300KPa）	N/C 　100～300KPa (3SLM～30SLM)		（Ar: 250～450KPa）	100～300KPa	150～300KPa	300～450kPa (H2：150～300kPa)
		（Ar 200～3500KPa）
温度系数	Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃
最大工作压力	400KPa（Ar:500KPa）				700KPa
耐压	1MPa
漏率	金属密封：1×10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10 atm・cc/sec He)					橡胶圈密封：1×10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6 atm・cc/sec He)
	橡胶圈密封：1×10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6 atm・cc/sec He)
密封材料	金属密封；氟橡胶；氯丁橡胶					氟橡胶；氯丁橡胶
通讯形式	模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、EtherCAT						模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、
电源	模拟/数字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)
标准接头形式	VCR 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal				VCR 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头	VCR 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头
重量	1.0kg				3.0kg	3.7kg