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K1000质量流量控制器

K1000为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量,在校正时事先设定4种气体的数据,通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定,操作简便;K1000C为大流量量程(200slm~1000slm),响应速度快(≤3s),具有模拟(0-5VDC)/RS485、DeviceNet通讯模式,可满足对客户对大流量高精度MFC的需求。
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产品描述
参数

优势

• 传感器部分采用哈氏合金,耐腐蚀性强。
• 产品精度高,可达100%~25%:±1.0% of S.P.、25%~2%:±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能,可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(最大可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证

技术参数

型号 

K1000A

K1000B

K1000C

流量规格(N2换算流量)

   Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM  

 

  

 

 

 

Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM 

         Bin 6: 3SLM ~10SLM

 

     60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

 

   Bin 3: 100SCCM~300SCCM

         Bin 7: 10SLM~ 30SLM

                  Bin 8: 30 SLM ~50SLM

   150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM、1000SLM(N2, H2, Air 等)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

 

 

 

 

 

    Bin 5: 1SLM ~3SLM

 

 

 

 

 

阀类型

N/O:常开型、N/C:常闭型

N/C:常闭型

流量控制范围

2%~100%F.S.

准确度

100%~25%:±1.0% of S.P.,
25%~2%:±0.25%F.S.
(精度保证范围15~35℃)

±1%F.S.(精度保证范围15~35℃)

±2%F.S.(精度保证范围15~35℃)

工作环境温度

5~50℃

5~45℃

响应时间

≦1sec

≦3sec

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

工作压差范围

 

 N/O   100~300KPa (3SLM~10SLM)

 

 

 

 

            50~300KPa

 N/O  150~300KPa (11SLM~30SLM)

200~300KPa

 

 

 

   (Ar: 100~300KPa)

N/C  100~300KPa (3SLM~30SLM)

(Ar: 250~450KPa)

  100~300KPa

  150~300KPa

300~450kPa  (H2:150~300kPa)

 

(Ar 200~3500KPa)

 

 

 

 

温度系数

Zero:±0.1%F.S./℃   Span: ±0.1%F.S./℃

最大工作压力

400KPa(Ar:500KPa)

700KPa

耐压

1MPa  

漏率

金属密封:1×10-11Pa・m3/sec He (1×10-10 atm・cc/sec He)

橡胶圈密封:1×10-7Pa・m3/sec He (1×10-6 atm・cc/sec He)

橡胶圈密封:1×10-7Pa・m3/sec He (1×10-6 atm・cc/sec He)

密封材料

金属密封;氟橡胶;氯丁橡胶

氟橡胶;氯丁橡胶

通讯形式

模拟:0~5V DC   数字:RS485、DeviceNet、EtherCAT

模拟:0~5V DC   数字:RS485、DeviceNet、

电源

模拟/数字:+15VDC 50mA,-15VDC 200mA; DeviceNet:+11~+24VDC,5.5VA(5.5W)

标准接头形式

VCR 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal

VCR 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头 

VCR 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头 

重量

1.0kg

3.0kg

3.7kg

 

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