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K1000系列质量流量控制器

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K1000系列质量流量控制器
产品名称

K1000质量流量控制器

K1000为高精度,高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm,K1000A为小流量量程MFC(从10sccm~50slm),具备多气体多量程功能,8种BIN Size能对应10sccm~50slm的所有流量,在校正时事先设定4种气体的数据,通过软件即可进行气体种类、流量的变更设定,操作简便;K1000C为大流量量程(200slm~1000slm),响应速度快(≤3s),具有模拟(0-5VDC)/RS485、DeviceNet通讯模式,可满足对客户对大流量高精度MFC的需求。
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