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  气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案,该产品通过对气路原理图的设计,加工和测试,以隔膜阀,调压阀,压力传感器,过滤器,MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节,纯度过滤,流量控制等功能,目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System),即IGS气路盘,这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。

  随着半导体领域的发展,对零部件小型化的提出了更高的要求,传统的VCR气路盘难以满足要求,IGS型气路盘应运而生,它具有气体直方向运输,体积小,便于安装维护等特点,是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积,七星流量计的IGS气路盘具有高密封性,高精度,集成度高等优点,并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量,保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。

产品名称

气路系统

气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案,该产品通过对气路原理图的设计,加工和测试,以隔膜阀,调压阀,压力传感器,过滤器,MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节,纯度过滤,流量控制等功能,目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System),即IGS气路盘,这两种气路盘业务七星流量计都有能力承接。<br><br>

  随着半导体领域的发展,对零部件小型化的提出了更高的要求,传统的VCR气路盘难以满足要求,IGS型气路盘应运而生,它具有气体直方向运输,体积小,便于安装维护等特点,是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积,七星流量计的IGS气路盘具有高密封性,高精度,集成度高等优点,并可以依托七星流量计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量,保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。
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