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七星流量计携新品亮相SEMICON 2019

七星流量计携新品亮相SEMICON 2019

  • 分类:公司新闻
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  • 来源:
  • 发布时间:2019-03-25
  • 访问量:4

【概要描述】

七星流量计携新品亮相SEMICON 2019

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  2019年3月20日,SEMICON China 2019在上海新国际博览中心隆重拉开帷幕,七星流量计CS100、CS200、CS300、CS230以及新品CS500、P100、K1000、K1200、K1500在此次展会展示。吸引了大量的业内专家学者前来参观讨论。(文末有具体新品介绍)

  七星流量计拥有在拥有多项气体流量测量和控制关键技术,MFC产品远销欧美,是中国流量计品牌的佼佼者。其CS系列数字MFC产品的技术指标满足高端装备使用要求,已经广泛应用于半导体、光伏太阳能、真空镀膜、TFT等行业生产线,累积销售量超过20余万台。

  新 品

  七星流量计始终以技术创新为基点,为客户提供流量测控解决方案,并致力于成为国际领先的质量流量控制器产品服务商。为了更好地满足半导体领域对气体流量、压力等方面的控制需求,七星流量计从客户需求出发,研发出系列新品,帮助客户提升设备性能。

 

  CS500压力式气体质量流量控制器,主要是针对先进半导体技术发展趋势,研发生产适用于高端半导体大规模集成电路设备的产品。该产品采用压力传感器技术,具有压力不敏感、零点漂移小、控制精度高、响应时间快等优点;采用压电阀技术,利用压电陶瓷在电压作用下产生弯曲变形而制成控制阀,具备响应时间快、不发热、驱动力大、结构简单等优点,符合半导体大规模集成电路制造的要求。CS500大幅提升了气体质量流量的控制、测量的准确度及可靠性。

  P100反应腔室压力控制器,是七星流量计最新研发的产品。该产品用于稳定腔室内的压力,使气体分子沉积均匀,实现晶圆膜厚度的一致性。它们在半导体领域以及真空镀膜等领域有着重要的作用。P100产品主要采用316L不锈钢和聚四氟乙烯(PTFE)材料制成,接触气体的部分采用PTFE材料,提高产品的耐腐蚀性以增加使用寿命。采用步进电机控制蝶阀结合PID闭环控制算法,自主研发中央控制单元,通过改变阀开度实现对腔室内压力的调节。

  K1000(M)产品是七星流量计新推出的多气体多量程数字产品,用户可在客户端便捷地进行气体种类和流量的变更,最大限度的为用户减小库存;该产品采用Progressive PID技术,在全量程范围,响应速度≤1秒;其流量传感器采用Hastelloy合金,提高对氯气类气体的耐腐蚀性;产品可支持0~5VDC模拟信号、数字信号,可通过专用软件设定警报、监控MFC内部信息。

  K1200、K1500产品是七星流量计推出的数字大流量产品,最高流量可达500SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品在全量程范围内的响应时间不超过3秒,流量精度更高,将使用过程中产生的系统误差降至最小,产品支持DeviceNet,RS485通讯协议。

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