北京七星华创流量计牟昌华博士受邀参加第十三届国际真空科学与工程应用学术会议，牟博士将于8.14日在东北大学国际交流中心分享关于“真空行业中的质量流量控制器的技术发展”主题报告，欢迎业界各位朋友前来参加。

　　报告摘要

　　气体流量的控制是真空行业中重要的部分，随着真空装备的不断发展，对于气体流量控制的精度、稳定性要求也越来越高。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)是真空行业中常用的气体流量控制装置，伴随着行业需求的不断发展，其技术也不断拓展和创新。本文着重对于气体质量流量控制器的温度适应性技术、设备地线适应性技术、通讯技术等多项技术发展进行介绍。气体质量流量控制器将不断为真空行业的发展提供有力的支持。

　　Abstract: Gas flow is the one of most important parts in the vacuum industry. With the development of the application, the more accurate and repeatable flow controller is required. The Mass Flow Controller (MFC) has been applied in the vacuum industry for gas flow control. Lots of inventions are developed to meet the application. In this paper, the independent temperature feature, customer ground compensation, and communication method are introduced. MFC technologies will support the development of the vacuum system.

　　牟博士简介

　　牟昌华，男，1976年8月出生，教授级高级工程师，2005年毕业于清华大学控制科学与工程专业获博士学位。主要从事气体流量控制测量领域的研究和产品开发工作，提出了多项创新技术，申请获得专利近20余项，其中国际PCT发明4项，在国内外重要刊物和会议上发表论文多篇，主持参与了国家重大专项等在内的多项国家和省部级科研项目，多次获得省部级科技奖项。主持研发了多款气体质量流量控制器产品，产品在真空、光伏、大规模集成电路等多个领域广泛应用，实现销售收入超过亿元，产品销售欧美等多个国家和地区。