流量显示不稳定的因素很多，需要确认是显示仪的问题还是MFC的问题。

1.检查显示仪

显示仪单独检测，将后端15针插头的设定与流量检测短接，顺时针调节设定旋钮观察前端面板瞬时流量显示，是否可以从0到满量程。如果不能正常从0调节到满量程，则我们可以判断是显示仪发生故障。不同型号显示仪的判断可参考“D08系列显示仪故障快速排查讲解”介绍。

2.检查MFC

若能排除显示仪问题，则很可能是实际流量控制不稳或者MFC问题。通常可以从以下方面进行逐一排查，迅速确定故障原因，从而根本性解决问题：

■ 可能为地线干扰，检查接地系统。

■ 可能为空间干扰，主要是电磁干扰，可采用适当屏蔽，远离干扰源，选用屏蔽线等方法。

■ 可能为气源压力太低，太高或不稳，需要改变气源气压，查看气路是否有漏气现象，稳定气源压力。

■ 可能为气源内阻过大，需要降低气源内阻(大流量时要注意开大阀门，加粗管道，或者是多气瓶供气，保证气源充足，提高气源供气能力。

■ 可能为污染，如气源有粉尘杂质，容易液化等，应在通道前加装过滤器，干燥器，或者适当加温。若使用硅烷等特殊气体，应注意管路的密封性和气源干燥 。

■ 可能为MFC电路或调节阀故障，需要回厂检修。