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七星流量计金属密封气体质量流量控制器加“大流量”了

七星流量计金属密封气体质量流量控制器加“大流量”了

  • 分类:新闻资讯
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  • 来源:
  • 发布时间:2021-03-19
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【概要描述】

七星流量计金属密封气体质量流量控制器加“大流量”了

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       气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密控制和测量,在半导体集成电路工艺的科研和生产中有着重要的应用。其中金属密封大流量气体质量流量控制器,在半导体领域的CVD、PVD、清洗机等设备上有关键作用,但其技术壁垒高,开发难度大,国内设备厂商长期依赖进口。

       北京七星华创流量计有限公司作为一家专注流量测控领域40余年的企业为了改变这一局面组建金属密封大流量项目攻关团队耗时20个月,2020年8月,完成了CS330金属密封大流量产品科研任务,迅速小批量投产,并在半导体行业客户处进行了验证,对机台的实际应用中发现的问题逐步优化,获得客户认可,现已初步走向产业化。

     它的成功研制,突破了流量和材料技术交叉的瓶颈,各项指标均达到国外同类产品的技术水平。产品研发理念创新,在部件选择上,采用了全金属密封大流量流量调节阀和大流量分流器,并选用体积小,零漂小,抗干扰能力强的传感器,根本上夯实产品基底;在结构设计上,采取了新型金属密封结构形式,不仅密封更可靠,还降低了装配难度,保证产品一致性;在技术创新上,新型低噪声、高抗干扰信号的传感器驱动技术,增强了产品的抗干扰能力,提高了产品的准确度及稳定性;在生产制造上,采用了高精密金属加工及表面处理技术,采用机器人对零件进行表面抛光,保证了表面粗糙度Ra0.1,提高了生产效率。

   

人工智能的机器人、抛光部件

    随着半导体设备国产化需求的增长,金属密封大流量产品的需求也将增长,未来CS330产品将会拥有更大的市场份额,我国金属密封大流量质量流量控制器市场长期依赖进口局面将会被改变。

 

CS3300关键技术指标

项目

气体质量流量控制器

流量量程(N2

50240 SLM

最小可控制流量

2% F.S.

反应时间

≤1

精度

±1.0% S.P.  F35% F.S.

±0.35% F.S. F35% F.S.

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

温升系数

零点:±0.02% F.S/

调节:±0.05% F.S/

漏气率

5 x 10-12 Pa·m3/ sec He

5 x 10-11 atm.cc/sec He

零漂

在没有零点校正时< 0.6% F.S./

工作压差范围

100 ~ 300 KPa 50F100SLM

200 ~ 300 KPa 100F200SLM

最大工作压力

450 KPa

极限压力

1000 KPa  

使用温度

0  ~ 50

内部表面抛光

5μinch EP;

数字接口

RS485  DeviceNet

外形尺寸

132()X38.3(宽)X150(高)毫米

进、出气接头

1/2” VCR

 

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