气体流量控制器(mfc)用于精确测量和控制气体的质量流量，质量流量计(mfm)用于精确测量气体的质量流量。扩散、氧化、分子束外延化学气相沉积、等离子蚀刻、溅射、离子注入和真空镀膜设备、光纤熔化、微反应器、混合气体分配系统、毛细管气相色谱仪、光纤制造设备。广泛应用于石油化工、冶金、制药等行业。特点: 精密度高，重复性好。

  1、结构

  气体流量控制器MFM由电路板、传感器、进出气管连接器、化流器通道壳等组成，只能测量气体质量流量，在MFM加调节阀的基础上构成MFC，不仅能测量气量流量，还可以控制流量。

  2、工作原理

  气体流量控制器的气流进入进气管的街道后，大部分流经分流通道，一小部分进入传感器内部的毛细钢管。由于分流通道的特殊结构，这两部分的流量可以成正比。预热和加热后，传感器内部的温度高于进入气流的温度。此时，这一小部分气体的质量流量是用毛细管传热和温差量热法测量的。用这种方法测得的气体流量可以忽略温度和压力的影响。传感器测得的流量检测信号输入电路板，放大输出，完成MFM函数。气体流量控制器的电路板上增加了PID闭环自动控制功能，将传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，在此基础上控制调节阀，使流量检测信号等于设定信号，从而实现MFC的功能。